کارخانه کمپرسور هلیوم چین: راهکارهای کم‌نشت برای کاربردهای نیمه‌هادی و برودتی توسط تامین‌کنندگان پیشرو

کمپرسور دیافراگمی از یک دیافراگم فلزی برای جداسازی فیزیکی کامل روغن هیدرولیک از گاز فشرده استفاده می‌کند و به هیچ وجه روغن‌کاری در سیلندر انجام نمی‌دهد. این ویژگی تضمین می‌کند که هلیوم در طول فشرده‌سازی با هیچ روغنی آلوده نشود و خلوص فوق‌العاده بالای 99.999٪ را حفظ کند که کاملاً الزامات سختگیرانه پاکیزگی در زمینه‌های نیمه‌هادی، تحقیقات علمی و پزشکی را برآورده می‌کند.

گاز درون محفظه‌ای که توسط دیافراگم و سرسیلندر تشکیل شده است، آب‌بندی می‌شود که یک ساختار آب‌بندی استاتیک است که اساساً از نشت گاز جلوگیری می‌کند. این امر برای جلوگیری از هدر رفتن هلیوم گران‌قیمت بسیار مهم است. همزمان، این نوع کمپرسور نسبت تراکم تک مرحله‌ای بالایی را ارائه می‌دهد که آن را قادر می‌سازد با تعداد مراحل کمتر به فشارهای تخلیه تا 50 مگاپاسکال یا حتی بالاتر دست یابد، که آن را برای پر کردن و حمل و نقل هلیوم با فشار بالا بسیار مناسب می‌کند.

با توجه به شاخص آدیاباتیک بالای هلیوم و افزایش دمای قابل توجه در طول فشرده‌سازی، طراحی باید نسبت فشرده‌سازی تک مرحله‌ای را به شدت کنترل کند تا از دمای تخلیه بیش از حد بالا که می‌تواند بر پایداری تجهیزات و عمر دیافراگم تأثیر بگذارد، جلوگیری شود. یک سیستم خنک‌کننده بین مرحله‌ای و خنک‌کننده نهایی کارآمد (خنک‌شده با آب یا خنک‌شده با هوای فشرده) باید فراهم شود تا فرآیند فشرده‌سازی تا حد امکان به ایزوترمال نزدیک شود و به طور مؤثر افزایش دما را کنترل کند.

تمام اجزای جریان-مرطوب در تماس با هلیوم باید از مواد سازگار مانند فولاد ضد زنگ با کیفیت بالا (به عنوان مثال، 304، 316L) ساخته شوند. در طول ساخت و مونتاژ، این اجزا باید تحت فرآیندهای دقیق چربی‌زدایی، تمیزکاری و خشک کردن قرار گیرند تا هرگونه منبع آلودگی احتمالی از بین برود و خلوص اولیه گاز تضمین شود.

یک دستگاه نظارت و هشدار پارگی دیافراگم باید نصب شود تا بلافاصله پس از خرابی دیافراگم، هشدار دهد و از اختلاط نفت و گاز جلوگیری کند. سیستم باید در هر مرحله به شیرهای ایمنی برای محافظت در برابر فشار بیش از حد مجهز شود.